Synthesis and characterization of tungsten oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering

نویسندگانS Khamseh
نشریهJournal of Alloys and Compounds
شماره صفحات249-252
شماره مجلد611
نوع مقالهFull Paper
تاریخ انتشار2014/10/25
رتبه نشریهISI
نوع نشریهچاپی
کشور محل چاپایران

چکیده مقاله