A comparative study of CrAlN films synthesized by dc and pulsed dc reactive magnetron facing target sputtering system with different pulse frequencies

نویسندگانS Khamseh- M Nose- T Kawabata- T Nagae- K Matsuda- S Ikeno
نشریهJournal of Alloys and Compounds
شماره صفحات191-195
شماره مجلد508
نوع مقالهFull Paper
تاریخ انتشار2010/10/15
رتبه نشریهISI
نوع نشریهچاپی
کشور محل چاپایران

چکیده مقاله