Nanostructured CrAlN Films Prepared at Different Pulse Widths by Pulsed DC Reactive Sputtering in Facing Target Type System

نویسندگانSara Khamseh, Masateru Nose, Shohei Ueda, Tokimasa Kawabata, Takekazu Nagae, Kenji Matsuda, Susumu Ikeno
نشریهMaterials transactions
شماره صفحات0810100573-0810100573
نوع مقالهFull Paper
تاریخ انتشار2008/11/1
رتبه نشریهISI
نوع نشریهچاپی
کشور محل چاپایران

چکیده مقاله