A study of the oxidation behavior of multilayered tungsten nitride/amorphous tungsten oxide film prepared in a planar magnetron sputtering system

نویسندگانS Khamseh
نشریهCeramics International
شماره صفحات465-470
شماره مجلد40
نوع مقالهFull Paper
تاریخ انتشار2014/1/1
رتبه نشریهISI
نوع نشریهچاپی
کشور محل چاپایران

چکیده مقاله